成果基本信息 |
成果名稱 |
高純金屬大尺寸旋轉(zhuǎn)靶材的冷噴涂制備技術(shù) | |||
技術(shù)領(lǐng)域 |
新材料 | ||||
應(yīng)用行業(yè) |
金屬材料 | ||||
技術(shù)成熟度 |
小試 | ||||
成果內(nèi)容介紹 |
Ag、Nb、Ta、Cu等金屬濺射靶材是集成電路、OLED器件、薄膜電池、智能玻璃等產(chǎn)品的重要基礎(chǔ)耗材。針對(duì)傳統(tǒng)熔鑄和熱噴涂技術(shù)制造靶材存在組織結(jié)構(gòu)不均勻、晶粒粗大（熔鑄的晶粒>100 μm）、孔隙等缺陷，與背板（管）結(jié)合性能差的問題，且鑄造技術(shù)難以實(shí)現(xiàn)大尺寸靶材制造的現(xiàn)狀，開展冷噴涂制備大型高純金屬旋轉(zhuǎn)靶材的應(yīng)用攻關(guān)，開發(fā)了組織結(jié)構(gòu)均勻致密、晶粒細(xì)小、低氧化、材料利用率接近100%、結(jié)合性能好的大厚度涂層制備技術(shù)。整體水平達(dá)到國際先進(jìn)水平。 |
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專利名稱 |
高純金屬大尺寸旋轉(zhuǎn)靶材的冷噴涂制備技術(shù) | 專利號(hào) |
（1）CN114231917A （2）CN108118326A （3）CN108195755A | ||
合作方式 |
合作開發(fā) | ||||
聯(lián)系人 |
謝迎春 | 聯(lián)系方式 |
18802034985 | 單位 |
廣東省科學(xué)院新材料研究所 |
